薄膜热应力测试系统：

世界顶级薄膜热应力测量系统，MOS多光束技术荣获美国专利技术！同时KSA公司荣获2008 Innovation of the Year Awardee！主要特点：
1.温度范围RT~1000°C，应力测量范围0.5MPa到4×100GPa，曲率重复性<2×10-5 1/m；
2.样品快速热处理功能，样品快速冷却处理功能；
3.温度闭环控制功能，保证极佳的温度均匀性和精度;
4.实时应力VS.温度曲线；
5.实时曲率VS.温度曲线；
6.程序化控制扫描模式：选定区域、多点线性扫描、全面积扫描；
7.成像功能：样品表面2D曲率成像，定量薄膜应力成像分析；
8.测量功能：曲率、曲率半径、应力分布、应力和翘曲等； 详细信息

采用美国非接触MOS专利技术！不但可以精确的对样品表面应力分布进行统计分析，而且还可以进行样品表面二维应力、曲率成像分析；应力测量范围0.5MPa~100GPa，扫描分辨率2 μm，平均曲率分辨率< 2e-5 (1/m) (100km radius) ，平均翘曲测量重复性< 5e-6 (radians) ，平均曲率重复性<2×10e-5 1/m；
该设备已经广泛被全球著名高等学府（如：Harvard University 2套，Stanford University，Johns Hopkins University，Brown University 2套，Karlsruhe Research Center,Max Planck Institute，西安交通大学等）、半导体制和微电子造商（如IBM.，Seagate Research Center,Phillips Semiconductor,NEC，Nissan ARC,Nichia Glass Corporation）等所采用； 详细信息

太阳光模拟器：

日本高性能Class AAA级稳态太阳光模拟器，又称太阳能模拟器或者太阳模拟器；适合于各种光电材料、光电器件、太阳能电池领域的研究、测试以及评价等；同时匹配三大国际标准ASTM 3A级标准、IEC 3A 级标准、JIS 3A级标准；光谱匹配度A级（优于75~125%），有效照射范围内光强均匀性A级（小于2%），时间不稳定性A级（小于1%）；初始光强可达1.5Sun,并且光照强度客户可自行调节，同时也可升级光强自动反馈控制器；有效照射面积 2 inch×2 inch, 4 inch×4 inch, 6 inch×6 inch, 7 inch×7 inch，8 inch×8 inch, 12 inch ×12 inch；可配备IV测量分析功能及测试夹具； 详细信息

稳态太阳能模拟器：

日本专业AAA级稳态太阳能模拟器，数十年光学设计经验，精湛的制造工艺和选配高性能光学器件保证了优异的光谱匹配性、照射均匀度和光强稳定性；采用全光谱阵列光源设计，整合了全面积自动光谱强度校准系统，配备了完善的测试系统，可用于各种太阳能电池片测试； 同时匹配国际标准：ASTM 3A/B级标准、IEC 3A/B级标准、JIS 3A/B级标准； 有效照射面积12inch x12inch（300mmx300mm)?，20inchx20inch (500mmx500mm) ;输出光强调节范围70%~100%；具备测温传感器以及安全自锁设计；可配备IV测量分析功能及测试夹具；详细信息